X射線是電磁波譜中的某特定波長範圍內的電磁波↟✘◕，其特性通常用能量（單位₪╃：千電子伏特↟✘◕，keV）和波長（單位₪╃：鈉米↟✘◕，nm）描述▩·☁。X射線熒光是原子內產生變化所致的現象▩·☁。一個穩定的原子結構由原子核及核外電子組成▩·☁。這些核外電子圍繞著原子核按不同軌道運轉↟✘◕，它們按不同的能量分佈在不同的電子殼層₪╃：分佈在同一殼層的電子具有相同的能量▩·☁。

　　當具有高能量的入射（一次）X射線與原子發生碰撞時↟✘◕，會打破原子結構的穩定性▩·☁。處於低能量電子殼層（如₪╃：K層）的電子更容易被激發而從原子中逐放出來↟✘◕，電子的逐放會導致該電子殼層出現相應的電子空位▩·☁。這時處於高能量電子殼層的電子（如₪╃：L層）會躍遷到該低能量電子殼層來補充相應的電子空位▩·☁。由於不同電子殼層之間存在著能量差距↟✘◕，這些能量上的差以二次X射線的形式釋放出來↟✘◕，不同的元素所釋放出來的二次X射線具有特定的能量特性▩·☁。儀器透過探測不同的元素所釋放出來的二次X射線具有特定的能量特性↟✘◕，進行分析計算得到各鍍層厚度↟✘◕，這一個過程就是我們所說的X射線鍍層測厚儀▩·☁。
 

　　x射線鍍層測厚儀是將X射線照射在樣品上的▩·☁。強度的衰減將主要是由於材料對樣品的吸收↟✘◕，以及從樣品中反射的第二X射線的強度▩·☁。測量了塗層等金屬膜的厚度▩·☁。因為有樣品和X射線輻照對樣品無接觸只有45-75w↟✘◕，所以不會造成樣品損傷▩·☁。同時↟✘◕，測量也可以在10到幾分鐘內完成▩·☁。

　　X射線鍍層測厚儀的特徵:

　　1✘↟▩☁、可測量電鍍✘↟▩☁、蒸鍍✘↟▩☁、離子鍍等各種金屬鍍層的厚度▩·☁。

　　2✘↟▩☁、CCD攝像機可以觀察和選擇小面積測量塗層的厚度↟✘◕，避免直接接觸或破壞被測物體▩·☁。

　　3✘↟▩☁、擁有鍍層厚度測量和成分分析等250多個標準樣品▩·☁。